Microscópios

Câmera de microscopia
opera com baixa luminosidade
Microscópio confocal
opera a laser
Microscópio acústico
inspeciona wafers em pares
Para inspeções não destrutivas, examina simultaneamente dois pares de wafers MEMS de 300 mm de diâmetro, detectando defeitos estruturais a partir de 5 micra ...
Microscópio digital
tem resolução de 720 x 480 pixels
Microscópio estereoscópico
dispõe de objetivas de 2-4x