NEI
MKS Instruments, Inc. (Wilmington , Massachusetts)

Controlador de fluxo oferece baixa queda de pressão

Descrição do produto

Projetado para controlar com segurança fluxos de gases em aplicações de implantação de íons em semicondutores, opera com pressões a partir de 4 torr e fluxos de 1 a 20 sccm. O modelo MFC pode ser configurado para gases primários de implantação, tais como arsina, fosfina e trifluoreto de boro, e seu desenho otimizado proporciona baixas perdas de pressão. Dotado de válvula e sensor para manter a exatidão e a repetitividade do fluxo, dispensa trocas freqüentes de cilindros de gás, vem equipado com software de configuração e diagnóstico e pode ser conectado com computadores PC através de interface Ethernet.


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