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Difusor de semicondutores adota a tecnologia VSB

  • Difusor de semicondutores adota a tecnologia VSB
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Descrição do produto

Projetada para atender o patamar de 32 nm, a série SB3050 adota a tecnologia VSB (Feixe em Formato Variável), com varredura vetorial embasada em estágio continuamente móvel, proporcionando otimização de rendimento. O projeto, viabilizando alcance bidimensional de 310 x 310 mm, assegura resolução ótica de 50 keV e endereçamento de reticulado de 1 nm. Traz módulo refinado, totalmente automatizado, de mobilidade do substrato, com miniambiente capaz de satisfazer os requisitos mais avançados das tecnologias resistivas. A exigência de sala higiênica pode se limitar a 27 m².


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