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Alinhamento de máscaras opera manual ou automaticamente

  • Alinhamento de máscaras   opera manual ou automaticamente
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Descrição do produto

O sistema EVG6200NT é um sistema automático de alinhamento de máscaras, projetado para processos de litografia frente e verso, que manipula substratos de 3" até 200 mm. Inclui base de granito, isolação antivibração ativa e motores lineares para maior precisão. Permite ao fabricante optar por operação R&D (pesquisa e desenvolvimento) ou automação total. Possibilita operar com vários tamanhos de wafers com baixo tempo de setup. É compatível com sistema Windows®.


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